《科创板日报》5月19日讯（记者 敖瑾）今日（5月19日），国产半导体质量控制设备厂商中科飞测登陆科创板上市。开盘时公司股价大涨179.7%，盘中股价持续走高，涨幅一度超过200%，随后有所回落。截至收盘，中科飞测报68.35元/股，较发行价涨189.62%，总市值218.72亿元。

中科飞测背后站着一众豪华股东。2019年开始，深创投、芯动能、国投基金、哈勃投资以及国内芯片大佬、韦尔股份董事长虞仁荣等投资方相继入资中科飞测。据招股书，上市前，国投基金持股比例达15.19%，为中科飞测最大外部股东；深创投合计持有7.92%；芯动能持股6.41%；哈勃投资持股比例为3.3%。

据中科飞测招股书披露的各资方投资成本计算，上市首日，国投基金实现了超7倍的账面回报；芯动能则实现了超21倍的账面回报；深创投、哈勃投资等账面回报目前也超过了10倍。

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国投基金、深创投等组成的豪华股东背景

据招股书，中科飞测为一家半导体质量控制设备公司，专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线，下游客户包括芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等。

公司实控人、董事长陈鲁，毕业于中国科学技术大学少年班，获物理学专业学士学位，后赴美留学，在布朗大学取得博士学位。创办中科飞测前，其曾任创新科技系统科学家、科磊半导体资深科学家以及中科院微电子所研究员、博士生导师。

值得一提的是，中科大少年班走出的科创板上市公司创始人，还有寒武纪的陈天石、陈云霁，福昕软件的熊雨。

数据显示，2020-2022年，中科飞测分别实现营收2.38亿元、3.61亿元以及5.09亿元；归母净利为3958.51万元、5352.59万元以及1174.35万元。

研发投入方面，2020-2022年，中科飞测研发费用分别为4617.16万元、9503.9万元以及2.06亿元，占营收比例为19.43%、26.36%以及40.4%。

IPO前，中科飞测在一级市场获得了众多头部投资机构的出资，包括国投基金、深创投、芯动能以及哈勃投资等知名国资背景机构和产业投资方。与此同时，个人投资者、国内芯片大佬虞仁荣亦在2020年对中科飞测投入了近1000万元。

中科飞测上市首日飙红的股价，为上述股权投资机构带来可观的账面回报。

财联社创投通-执中数据显示，中科飞测最大的外部股东国投基金，目前实现账面回报21.67倍。公开信息显示，国投基金最早于2019年投资中科飞测，累计投资成本超1.15亿元，IPO前对公司持股比例达到15.19%。

深创投自2019年开始在一级市场对中科飞测进行了多次注资，累计投资金额达1.05亿元，IPO前，深创投以及旗下创新一号基金共计持有中科飞测7.92%的股份。据财联社创投通-执中数据，深创投对中科飞测的投资目前实现账面回报超12倍。

京东方旗下CVC芯动能、华为旗下CVC哈勃投资，则分别实现了超26倍以及10.84倍的账面回报。

半导体设备厂商受资本市场关注

有半导体投资人士表示，光刻机和量检测设备是目前半导体领域国产化率最低又很关键的两类半导体制造设备，“中科飞测上市首日近200%的涨幅，表明量检测设备这一方向被资本市场所看好。”

此前，与中科飞测同行业的公司，在资本市场上亦有较好表现。

中微公司2019年登陆科创板首日，开盘涨幅接近300%，此后公司股价持续攀升，至2020年7月290元/股的高点后有所回落，截至今日，公司股价报163.66元/股，仍大幅高于发行价29.01元/股。

芯源微于2019年末登陆科创板，亦在上市首日高开96.51%。上市3年间，芯源微股价震荡走高，截至今日收盘，报271.69元/股，是发行价26.97元的10倍多。

盛美上海、华峰测控亦走出了开盘首日涨53%、216.55%的走势。

中科飞测在招股书中对设备领域当前国产化率仍较低的情况进行了说明。“根据平安证券研究所数据，2020年我国半导体量测检测设备国产化率约为2%。”具体市占率方面，据中科飞测方面模拟测算，2020年，中科飞测市占率为1.74%。而国际巨头科磊半导体在国内市场的市占率则达到了54.8%。

中科飞测方面亦表示，目前与国外厂商仍存在较大的竞争差距。其在招股书中称，“公司产品虽然已能够覆盖2Xnm及以上制程，但对于应用于 2Xnm 以下制程的质量控制设备仍在研发或验证中，与科磊半导体、应用材料、创新科技等国际巨头在制程工艺的先进性方面，尚存在较大差距。”

对于2Xnm以下的具体研发情况，其表示，1Xnm 产线的 SPRUCE-900 型号设备正在研发中，对应 2Xnm 以下产线的DRAGONBLOOD- 600型号设备正在产线进行验证，已取得两家客户的订单。

超募近7亿，券商赚了1.6亿元

成立于2014年的中科飞测，于2022年正式向科创板发起冲刺。

在科创板首轮问询中，上交所主要关注中科飞测核心技术及其先进性、核心技术人员及技术来源、主要客户、营业收入、研发费用、存货、市场地位及竞争状况、员工持股平台及股份支付、募投项目、社保及公积金、关联资金拆解及担保等17个问题。

回复后半个月，中科飞测因财务资料过期，被上交所按规定中止其发行上市审核。当年5月，更新了财务资料后，中科飞测中止审核情形消除，恢复了在科创板的IPO进程。

在2022年5月末的二轮问询中，上交所主要关注中科飞测营业收入、研发投入、主要客户、技术先进性、股权变动和股份支付、实控人借款、募投等10个问题。

据披露，中科飞测本次在科创板上市，公开发行股票8000万股，发行价格为23.60元/股，扣除发行费用后募集资金净额为16.98亿元，较原计划超募6.98亿元。据招股书，募集资金将用于高端半导体质量控制设备产业化项目、研发中心升级建设项目和补充流动资金。

中科飞测保荐人（主承销商）为国泰君安证券，保荐代表人为田方军、寻国良。 中科飞测本次发行费用合计1.9亿元，其中国泰君安证券获得保荐承销费用1.64亿元。

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责任编辑：Rex_19