12月28日晚间，半导体企业中微公司(688012)公告，拟对睿励科学仪器(上海)有限公司(下称“上海睿励”)进行增资，以现金方式投资1亿元，认购上海睿励新增注册资本8333.33万元，认购单价为1.2元/股(注册资本)。上述交易完成后，上海睿励注册资本增加至428亿元，公司持股比例为20.4467%。

公告显示，上海睿励成立于2005年6月27日，注册资本约3.45亿元，致力于集成电路生产前道工艺检测领域设备研发和生产，是国内少数几家进入国际领先的12英寸生产线的高端装备企业之一，并且是国内唯一进入某韩国领先芯片生产企业的国产集成电路设备企业。本次增资，上海睿励的投前估值为4.1353亿元人民币。

上海睿励主营的产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备，以及硅片厚3度及翘曲测量设备等。上海睿励自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品，已应用在65/55/40/28纳米芯片生产线并在进行了14纳米工艺验证，在3D存储芯片产线支持64层3DNAND芯片的生产，并正在验证96层3DNAND芯片的测量性能。

上海睿励应用于LED蓝宝石衬底图形检测的自动光学检测设备，也已成功销售到众多国内LEDPSS衬底和LED芯片生产线。

上海睿励正在开发下一代可支持更高阶芯片制程工艺的膜厚和OCD测量设备以及应用于集成电路芯片生产的缺陷检测设备，进一步扩大可服务的市场规模。截止2020年11月30日，上海睿励拥有专利87项，软件著作权39项，注册商标8项，作品著作权1项及备案域名2项。

中微公司表示，本次投资上海睿励将使公司能够布局集成电路工艺检测设备领域。此外，中微公司同上海睿励的客户和供应商有高度重叠，通过本次投资，能进一步形成产业链协同效应。本次投资构成关联交易，但未构成重大资产重组。

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